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装置名 材質 サイズ/能力 台数 備考
湿式 FRP 15~50㎥/min 25 塩化水素・粉じん・有機溶剤・硫化水素・亜硫酸
15㎥/min 1 塩化水素
30㎥/min 1
50㎥/min 1 アンモニア
SUS 30㎥/min 1 粉じん・有機溶剤
50㎥/min 1 窒素酸化物
エポタール 70mmaq/30㎥/min 1 硫酸ミスト
PVC 7~10㎥/min 3 実験室用
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